dddd28.com

　　上证报中国证券网讯(记者高志刚)盛好意思上海今天告示旗下清洗建设居品Ultra C Tahoe获取紧迫性能冲破。这次进步无意得志更先进的晶圆代工、逻辑器件及存储器件的严格时间条款。Ultra C Tahoe的专利搀杂架构最初终了将槽式清洗模块和单片晶圆清洗腔体聚会到褪色SPM建设中。该架构具备更强的清洗性能、更高的产能和更好的工艺天真性。在中低温硫酸(SPM)清洗工艺中，Ultra C Tahoe不错达到颓丧单片晶圆清洗建设的成果，并可减少高达75%的化学品破钞。

　　据盛好意思上海估算，仅硫酸一项每年就可纯粹高达50万好意思元的本钱dddd28.com，且在硫酸废液搞定上可进一步镌汰本钱并对环境更友好。当今，多家大型晶圆厂客户已将升级后的Ultra C Tahoe进入坐褥。多家其他逻辑器件和存储器客户正在对该建设进行评估，预测更多建设将在2024年底之前录用。